六氟化硫氣體在合成過程中產生的雜質外，還可將少量雜質，如空氣、水分和礦物油混入氣體填充過程中，所有這些雜質都含有或將產生某些有毒物質。因此，為了確保純度和質量，對將要出廠的六氟化硫制定了新的的質量標準，并要求制造商在供應時在生物試驗中提供無毒證書。
1、高溫電弧作用下電氣設備中SF6氣體會產生的一些有毒產品。例如：SF6氣體在電弧中分解并與氧反應：會產生氟化硫酰、氟化亞硫酰、四氟化硫酰等有毒物質。
2、將六氟化硫氣體在電氣設備中分解后與其中的水發生反應，生成一定的有毒產物。例如，sf6氣體餾分與水的二次反應生成硫酸、氫氟酸、二氧化硫等。
3、電器設備中的SF6氣體和分解劑與電極(Cu-W合金)和金屬材料(Al，Cu)發生反應，生成一些有毒的產物。例如，六氟化硫氣體和分解物與電極或其他材料發生反應：固體粉末——如AlF3(固體粉末)、CuF2(固體粉末)。
4、電氣設備中的SF6氣體和分解器與絕緣材料反應產生某些有毒產品。如含硅成分的環氧酚醛玻璃布片(棒、管)等絕緣部件；或用環氧樹脂鑄件、模塑件和陶瓷瓶、硅橡膠、石英砂和玻璃填充的硅脂生產SiF4、Si(CH3)2F2等產品，如環氧樹脂澆注件、模塑件和瓷瓶、硅橡膠、硅樹脂潤滑脂等。
