高純氮氣常在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。而在航天技術中，也需要高純氮氣做置換氣體。
1、高純氮氣消防措施
危險特性：若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。
有害燃燒產物：氮氣。
滅火方法：本品不燃。盡可能將容器從火場移至空曠處。噴水保持火場容器冷掉，直至滅火結束用霧狀水保持火場中容器冷掉。可用霧狀水噴淋加速液氮蒸發，但不可使用水槍射至液氮。
2、高純氮氣泄漏應急處理
應急處理：迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，并進行隔離，嚴格控制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。漏氣容器要妥善處理，檢驗后再用。
3、高純氮氣操作處置與儲存
操作注意事項：密閉操作。密閉操作，提供良好的自然通風條件。煙臺壓縮氣體，操作人員需要經過專門培訓，嚴格遵守操作規程。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。
4、高純氮氣儲存注意事項
儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。儲區應備有泄漏應急處理設備。
