水分是六氟化硫設備產生毒害物質的一個條件。如果六氟化硫氣體中含有超過規定的水分，當其濕度發生變化時，就可能凝結在固體絕緣表面使該面變潮，這時設備的沿面放電電壓將顯著下降。六氟化硫氣體在電弧和電暈作用下分解生成的低氟化合物氣體，假如沒有水分子這個外部條件是不會生成SO2、HF及其它有害物質的，從而也就可以避免由它們產生的設備腐蝕。所以，設備充裝六氟化硫氣體必須嚴密措施防止水分進入。
（1）工作未開始之前，首先應測定現場周圍環境空氣相對濕度≤80％（即空氣中水蒸汽密度和同溫度下飽和水蒸汽密度比的百分值），這是限制空氣含水具體示數。測定如不合格，則應采取措施或重選干燥晴朗的天氣進行充裝。
（2）為使SF6泄漏氣體及時排換，主尖在進行充裝的同時開啟通風機，認真遵守空氣SF6含量不得超過1000ppm的規定。在工作開始后的一定時間內即應進行檢測，并具體情況于中途再進行檢側。當出現SF6氣體含量增高或超過標準時，應隨即對部件進行詳細檢查，查找原因并予以消除。
