無論是計量用的標準氣體還是電子混合氣體,準確性是第一要素。如何確保標準氣體準確性高、更穩定,是我們迫切需要關注和解決的問題。
因為氣瓶廠只能依賴于標氣公司做配氣、分析等效果考察工作,或許Cl210x10-6-N2處理接果不錯,而Cl25×106_N2就不滿意了,所以,此項工作類似于雜交水稻的培育,需要長期不間斷的考察研究,最好是多部門的聯合攻關作戰。若沒有國家的資金支持,目前的背景下,完成此項意義重大、經濟效益不突出的研究,真的有存在的可能性?可見氣瓶的穩定性問題將長期困擾中國氣體的進步與發展。
對于盛裝電子混合氣體的氣瓶,內表面決不能采用高分子材料處理。根據研究驗證,無論何種高分子材料,都有一定量的有提物釋放,這些碳氫化合是IC制造“有害”雜質尤其是在夏季,釋放會加劇。目前國內許多事舊氣瓶,由于內表的處理沒有清晰的標識,若再使用充裝類似N02等強氧化氣體,應引起注意,否則會出現嚴重的安全方面的事故。
此外,原料氣體的純度也是影響氣體準度的重要因素。目前市場競爭十分激烈,對于液化壓縮氣體,由于存在氣液兩相,組分尤其是較輕的組分,會隨溫度的變化而變化,應經常測定其濃度。必要時使用前多次置換吹掃系統,達到降低輕組分含量的目的,如高純、C02氣體長期不用,若質量不好,氣相中CH4、N2、02、CO含量飆升,可以通過小流量的放空處理解決,而對于較重的組分,建議留10%-20%的瓶底。
由此可見要保證標準氣體、混合氣體準確性和長期的穩定,盛裝氣瓶將要進一步的細致處理。