高純氣體的概念會不會傷害，這個關系不大，只是表達了一種純度，先說臭混混的二氧化硫，具有腐蝕性氣味難聞，吸入人體會輕度中毒，一氧化碳是有毒氣體，無色無味，吸入一定量的一氧化碳會中毒身亡，一氧化氮具有腐蝕性，吸入人體后會損壞呼吸道，呼吸窘迫綜合征。硫化氫氣體具有腐蝕性和劇毒，也是強力的神經毒素，吸入會慢性中毒和急性中毒。
還有一些在微電子行業用的一些有毒有害氣體對人體的危害，砷烷劇毒氣體有大蒜味，人體吸入250ppm的量就會立即死亡，磷烷劇毒氣體和砷烷的危害性相仿，乙硼烷劇毒氣體，有臭臭的異味，人體吸入微量就會中毒。
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