對于氣體來說,純度是衡量該氣體是否優質的一個標準。氬氣由于是惰性氣體,可以作為制造單晶體以及多晶體的保護氣體,為了提高硅晶體的質量,選擇高純度的氬氣至關重要,既可以提高晶體使用壽命,還可以滿足市場的需求。
氬氣純化方法:一般來說,氬氣純化過程是通過凈化裝置來實現,氬氣純化方法可分為直接脫氧法和吸氣劑純化法。
直接脫氧法:使用活性金屬與氬氣中的氧氣進行反應,消化掉氬氣中的氧氣,從而達到脫氧的目的,經過分子篩選吸附掉的氬氣中的水分子,紙氬氣的含水量修養1ppm。
吸氣劑純化法:采用吸氣凈化劑或者干燥劑,吸氣劑可以與氬氣中微量雜質形成穩定化合物,從而達到對氬氣精制的效果,使用吸氣劑純化法提純后,純度可高達6個9的高純氬。