六氟化硫（SF6）是良好的氣體絕緣體，被廣泛用于電子、電氣設備的氣體絕緣；其典型的應用是在供電部門的輸變電所、電廠等的高壓開關柜內用作氣體絕緣。 要防護六氟化硫，首先要了解六氟化硫的物理、化學性質。六氟化硫純品,毒性較低、性狀穩定。但人在吸入80%六氟化硫+20%的氧氣的混合氣體幾分鐘后，人體會出現四肢麻木，輕度興奮癥狀。六氟化硫氣體充入高壓開關柜內有一定的壓力，因此，氣體泄漏的概率較高，而空氣中的氧氣含量充足，這樣使得六氟化硫泄漏后與氧氣結合產生毒性的條件充分。這是需要防護的情況之一。
一旦六氟化硫氣體遇到高熱、高溫（如：電弧），會產生出副產物—氧化硫和氟化氫氣體，它們與未分解的六氟化硫氣體共存。此時就有三種毒氣存在。
氧化硫是一種硫酸酐，易被人體濕潤的粘膜表面吸收生成硫酸和亞硫酸，對眼和呼吸道粘膜有強烈的刺激作用。具體表現為流淚、咳嗽、喉灼痛、眼結膜及呼吸道刺痛等癥狀。遇到人體的汗液，會使人的皮膚紅腫。 氟化氫，易溶于水。同樣易被人體濕潤的粘膜表面吸收而生成氫氟酸，它對人體的危害同氧化硫一樣——是眼和呼吸道，但危害更大。氫氟酸常被用于刻蝕玻璃，可見它的腐蝕性極大。若遇到人的汗液，在人的皮膚表面形成氫氟酸，它能穿透皮膚表面向深層滲透，形成潰瘍和壞死，且不宜治愈。若骨骼損害引起氟骨病，將無法復原。氟化氫的毒性比之氧化硫和六氟化硫有過之而無不及。
國家化工部《化學危險品安全手冊》中對以上三種化學品規定值如下：
1．六氟化硫 TWA（8小時加權平均值）：1000PPM （5790mg/m3）STEL（短時暴露極限濃度值）： 未定
2． 氧 化 硫 TWA： 5PPM （13 mg/m3） STEL：5PPM （13 mg/m3）
3． 氟 化 氫 TWA： 3PPM （2.6 mg/m3） STEL：3PPM 未定
TWA值：一個工作日（8小時）人體累計吸入的毒氣濃度，以時間加權平均不大于該值，則不會對人體造成傷害。
STEL值：人體暴露在該濃度的毒氣中，不超過15分鐘不會對人造成傷害。該值未定，則說明不允許人體在未采取防護的情況下進入該毒氣環境。 由以上的數值及對人體危害的程度可知，對六氟化硫的防護有兩個方面：一是六氟化硫氣體本身；二是六氟化硫遇高溫后的副產物，而對副產物的防護更為重要。就人體而言，防護的重點是眼部和呼吸道；其次是人體的皮膚，至此，我們就可以針對性地選擇相應的防護用品及裝備。 呼吸系統是生命存活的三大要素之首，必須首先考慮。由于泄漏污染區可能有多種有毒氣體的存在。若采用過濾式防毒面具，因其是負壓式，防護安全系數較低，人吸氣時帶入毒氣的可能性較大，對于有多種毒氣存在，毒性較大且其濃度不確定的場所，選用過濾式面具是不合適的。采用正壓式空氣呼吸器可以完全隔絕毒氣，不考慮毒氣種類的多少、濃度的高低，所以正壓式空氣呼吸器是首選的防護產品。但在選擇正壓式空氣呼吸器品種時，應考慮毒氣是否直接致人死亡這一因素，以便正確選用。 當出現有毒氣體泄漏后，現場人員應就近采用防護器具——如逃生器，并迅速撤離泄漏污染源，中毒人員脫離現場至空氣新鮮處，必要時采用氧氣復蘇儀或人工呼吸就地搶救；應急處理人員必須佩帶空氣呼吸器、穿戴相應的防護服和手套后進入六氟化硫事故區，對現場通風對流，稀釋擴散六氟化硫。進入高濃度區域作業，必須有人監護。
