高純氣體(High Purity Gases)是氣體工業名詞，通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99199%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬，在半導體工業，高純氮，氫，氬，氦可作為運載氣，保護氣和配制混合氣的底氣。 高純氣體根據分子結構的不同可以分為有機高純氣體，和無機高純氣體。 高純氫氣和高純氮氣都是無極高純氣體。 純度是氮氣的一個重要技術參數，按國標氮氣的純度分為工業用氮氣、純氮和高純氮氣三級，它們的純度分別為99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％) 食品包裝中使用的氮氣純度必須達到純氮級（即安全級）。
高純氮氣《GB/T8980-1996高純氮》氮氣含量：合格品99.999％（V/V），優等品99.9996％
