一氟硅烷《氣體應用大全》

1.別名·英文名

一氟三氫硅；Fluorosilane．

2.理化性質

分子量： 50.11

沸點： -98.0℃

相對密度(氣體，空氣=1)： 1.73

一氟硅烷為具有腐蝕性的可燃性有毒氣體。其它參見六氟乙硅烷。