五氟化砷《氣體應用大全》

1.別名·英文名

Arsenic pentafluoride．

2.用途

離子注入。

3.理化性質·毒性

分子量： 169.9

熔點： -79.8℃

沸點： -52.9℃

液體密度： 2230kg/m3

氣體密度(0℃)： 7.71kg/m3

五氟化砷在常溫常壓下為無色有毒氣體，遇到潮濕空氣發白煙，產生氟化氫和As2O3。遇水分解，腐蝕玻璃。

最高容許濃度為：0.2mg/m3。

參見三氟化砷。