1.別名·英文名
氟化砷；Arsenic trifluoride．
2.用途
外延、離子注入、氟化劑。
3.制法
(1)往亞砷酸與氟石的混合物中緩慢加入過量濃硫酸，并加熱。
As2O3+3CaF2+3H2SO4→2AsF3+3CaSO4+3H2O
(2)三氯化砷與氟或氟化氫反應：
4.理化性質
分子量： 131.92
熔點： -8.5℃
沸點(100.258kPa)： 63.0℃
液體密度： 2670kg/m3
蒸氣壓(13.2℃)： 13.332kPa
(41.5℃)： 53.329kPa
三氟化砷在常溫常壓下為油狀有毒液體，在濕空氣中發煙，遇水分解出亞砷酸和氟化氫。
2AsF3+3H2O→As2O3+6HF
與其它氯化物反應時，氟離子取代氯離子。
3SiCl4+4AsF3→3SiF4+4AsCl3
與氯反應生成吸濕性的固體化合物AsCl2F3。在常溫它不燃燒，但遇到高熱時發出有毒氣體。在常溫時比氯化砷易揮發。
5.毒性
最高容許濃度：0.2mg/m3。
三氟化砷是劇毒物質，在鹵化砷中，其毒性最強。它的蒸氣和煙霧能刺激和腐蝕眼睛、皮膚和呼吸道粘膜。吸入后，刺激上呼吸道、支氣管、肺泡，引起頭痛、呼吸障礙、神經障礙、肺氣腫等癥狀，也能損傷肝、腎和心臟。對骨骼和牙齒也有腐蝕作用(參見氟化氫)。
6.安全防護
三氟化砷在有水分時，腐蝕性很強。金、白金、蒙乃爾能耐腐蝕。銅、鎳在干燥狀態下也能耐蝕，但在有水分存在時不耐蝕。呵以用聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合體，不能用聚苯乙烯和聚硫胺。
三氟化砷要存放在陰涼干燥的地方，要遠離火種和熱源。要與食品添加劑、酸類分倉存放。
廢料要用苛性鉀等堿性溶液處理使之分解，用鹽酸氧化后用硫化氫飽和，過濾沉淀，干燥后送至廢物處理廠。
