1.別名·英文名
氟化磷；Phosphorus pentafluoride、Phosphoric fluoride．
2.用途
電子氣，等離子干刻，離子注入，氟化劑，聚合、烴化、脫烴及烴類裂化反應時作催化劑。
3.制法
(1)PF3+F2(過量)→PF5
(2)五氧化二磷或五氯化磷與氟石灼燒制取。
6P2O5+5CaF2→2PF5+5Ca(PO3)2
(3)五氯化磷和三氟化砷激烈反應而生成。
3PCl5+5AsF3→3PF5+5AsCl3
4.理化性質
分子量： 125.966
熔點： -93.8℃
沸點(101.325kPa)： -84.5℃
液體密度(-84.5℃，S.P.)： 1636kg/m3
氣體密度(0℃，101.325kPa)： 5.765kg/m3
(20℃，101.325kPa)： 5.372kg/m3
相對密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：4.46
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.1935m3/kg
臨界溫度： 19.0℃
臨界壓力： 3394kPa
臨界密度： 624kg/m3
熔化熱(-93.8℃，56.9kPa)： 94.2kJ/kg
氣化熱(-84.6℃，101.325kPa)： 136.6kJ/kg
比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp=666.5J/(kg·K)
蒸氣壓(174.05K)： 39.997kPa
(191.55K)： 119.990kPa
(201.25K)： 199.983kPa
折射率(氣體，25℃，101.325kPa)： 1.0005878
五氟化磷在常溫常壓下為具有刺激臭的無色有毒腐蝕性氣體。熱穩定性好，空氣中不燃燒。但是只要有少量水分就水解生成氟化氫和氟氧化磷POF3，而POF3最終轉變成磷酸。因此，它在空氣中強烈地發煙。它是強氧化劑，能與三甲基胺激烈反應，也能與NH3、N2O4、NOF等反應。十分干燥時，即使在250℃也不侵蝕玻璃。不與氫、氧、磷、硫等物質反應。遇水水解生成氟化氫和磷酸。
5.霉性
在PF5濃度為250ppm時，還沒有達到致死的程度，但是在1000ppm時，在85分鐘以內就可致死。
最高容許濃度：3ppm(2mg/m3)
五氟化磷水解生成的氟化氫和磷酸，對眼、皮膚和粘膜有強烈的刺激性，能引起腐蝕性灼傷，吸入后可導致呼吸道炎癥和肺水腫。
急性中毒的癥狀有刺激眼睛、流淚、哮喘、呻吟聲、支氣管嗚音、支氣管炎、肺水腫等。慢性中毒的癥狀有咳嗽、呼吸困難、喘息性痙攣等，也能引起皮膚炎、皮膚灼傷、眩暈、頭痛、食欲不振、惡心嘔吐、肋肌痛、肺水腫、腎炎等。
6.安全防護
工作時不能露出皮膚。工作場所要保持空氣新鮮干燥，嚴防受潮。所有用于PF5的設備管道容器要嚴格密封，而且在使用前必須用干燥空氣吹洗后抽真空，然后通氟氣鈍化。可根據PF5本身的煙霧和刺激臭或氨水法檢漏。暫停工作的設備也不能在空氣中打開，而應在真空或氮等惰性氣體保護下存放。
五氟化磷腐蝕性很強，不能用普通的材料。可用的材料有蒙乃爾、因科鎳合金、鎳、金、聚四氟乙烯和聚三氟氯乙烯聚合體。在低于250℃的干燥氣體中可以用玻璃。
泄漏的氣體可用排風機排送至水洗塔或與水洗塔相連的通風櫥內。廢氣可用水吸收，用苛性鉀等堿溶液中和。
