特種氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險,其危害性被不同國家區域和不同的工業組織進行了詳細的危險等級分類。對于一個大規模量生產的電子廠,其儲存和使用的特種氣體數量之多,可以毫不夸張的被視為擁有“大規模殺傷性”武器庫。任何設計、施工、日常運作中存在的安全隱患都會對工廠、人員和環境帶來巨大的災難,如何保證特種氣體的安全儲存和使用是每一個生產和使用企業越來越重視的問題。按照特種氣體與鋼瓶包裝材料反應性質進行分類,大致可分為不反應、反應、腐蝕性、不穩定四大類。
1、不反應。通常情況下,這些氣體不和外界空氣、包裝材料或常見的特種氣體中的雜質起反應,此類氣體的保質期通常≥36個月:Air,Ar,CFH3,CF2H2,CF3H,CF4,CH4,CO2,C2F6,C3F8,C4F8,C5F8,He,Kr,Ne,Xe,N2,N2O,O2,SF6;
2、反應。這些氣體會和外界空氣或標準的包裝材料起反應。此類氣體的保質期通常≥24個月:AsH3,CO,D2,GeH4,H2,NF3,PH3,SeH2,SiH4,Si2H6;
3、腐蝕劑。這些氣體通常在微量水的存在下與包裝材料反應,此類氣體的保質期通常≥18個月:BCl3,BF3,ClF3,Cl2,F2,GeF4,HBr,HCl,HF,NH3,PF5,SiCl2H2,SiCl3H,SiCl4,SiF4,WF6;
4、不穩定。這些氣體受熱不穩定并且隨著時間會自然分解,此類氣體的保質期通常≥6個月:B2H6,NO