【電子特氣被稱為半導體材料的“糧食”和“源”】
數據顯示，2015年，我國集成電路市場規模達到1.1萬億元，同比增長6.1%。在云計算、物聯網、大數據等產業帶動下，集成電路產業繼續保持高速增長。在微電子、光電子器件生產過程中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環節都離不開電子氣體,因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。電子氣體成本占IC材料總成本的5%-6%,雖然看似占比不大,但是很大程度上決定了半導體器件性能的好壞。電子氣體純度每提高一個數量級,都會極大地推動半導體器件質的飛躍。
【電子特氣行業的技術壁壘】
1、深度提純技術難度較大
以硅烷為例,將其純度由4N提純到6N中間有漫長的道路,除了要解決普通氣態雜質的純化問題,還要將金屬元素凈化到10-9級和10-12級。
2、包裝和儲運跟不上
超高純氣體的生產和應用都要求使用高質量的氣體包裝儲運容器、相應的氣體輸送管線、閥門和接口,以避免二次污染的發生。
3、分析檢驗觀念落后
國內對電子氣體生產應用領域分析檢測技術的研究開發工作不夠重視。
【部分產品已經獲突破,國產化率超過30%】
目前國內在高純硅烷、高純氨、高純笑氣、氖氣等已經突破,高純CL2、高純砷烷和高純鍺烷等也突破在即。半導體8英寸上的特種氣體國產化率已經達到30%以上。但本土電子氣體的生產和供應商規模較小,不能夠為用戶提供全方位的服務,目前大多通過低價競爭的方式占領一點市場份額,利潤很薄,甚至虧損。且知識產權的保護形同虛設。
【中國電子特氣主要企業】
電子特氣行業從業者較多,主要的參與者有中船重工第七一八研究所、南大光電、巨化股份、中昊光明化工、洛陽黎明化工、佛山華特氣體、綠菱電子和大連科利德等。其中南大光電和巨化股份是上市公司,南大光電已形成了35噸高純磷烷、15噸高純砷烷的生產能力。巨化股份計劃投資10.75億元,建設高純電子氣體項目(一期)高純電子氣體項目(二期)含氟特種氣體項目。
