| 項目 | 指標 | ||
| 優等品 | 一等品 | 合格品 | |
| 氬純度，10-2，≥ | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
| 氫含量，10-6，≤ | 2 | 4 | 5 |
| 氧含量，10-6，≤ | 1 | 1 | 2 |
| 氮含量，10-6，≤ | 0.5 | 1 | 1 |
| 總碳含量（以甲烷計），10-6，≤ | 0.5 | 1 | 2 |
| 水分含量，10-6，≤ | 1 | 2.16 | 4 |
注：表中純度和含量為體積分數。
表中氬純度未扣除水分含量。
高純氬檢驗規則：
- 高純氬應由生產廠的質量檢驗部門檢驗。保證所有出廠產品符合本標準要求。
- 高純氬質量按逐瓶逐項指標檢驗。
- 當檢驗結果有一項指標不符合本標準要求時，則該瓶產品為不合格。
- 用戶有權按照本標準規定驗收。
- 當供、需雙方對檢查結果發生異議時，由雙方共同檢驗或提請仲裁。
