電子工業用氣體氬技術指標 GB/T 16945-1997

試驗方法：

1　氫和氮含量的測定：
1.1　方法：采用配備氦離子化檢測器的氣相色譜儀測定氬中的氫和氮。
1.2　檢測限：氫0.1×10^-6(V/V)；氮0.5×10^-6(V/V)
1.3　儀器參數
1.3.1　色譜柱：將色譜分析用粒度為0.25～0.40mm的5A分子篩裝入內徑4mm，長約3m的不銹鋼管內，于300℃通氬氣活化3h。或采用等效色譜柱。
1.3.2　載氣：約30mL/min氦氣，氦氣中雜質含量比待測組分含量低一個數量級。
1.3.3　樣品體積：1.0～3.0mL。
1.3.4　溫度：檢測器及柱加熱箱均為室溫。
1.3.5　標樣：含1～5×10^-6(V/V)氫的氬，含5～25×10^-6(V/V)氮的氬。
1.4　操作步驟
1.4.1　用氣體進樣閥進標樣。
1.4.2　用同樣方法進待測樣品。
1.4.3　重復上述兩條，取兩次平行測定結果的算術平均值為測定結果，單個值與平均值的相對偏差不得大于10%。
1.4.4　比較標樣峰和試樣峰的平均面積，用下式分別計算氫和氮的含量，其結果不得超過本標準的上表規定值。
　　　　φ_i=(φ_s-A_i)/A_s
　　　　式中：φ_i－－樣品氣中的待測組分i的含量，10^-6(V/V)；
　　　　　　　φ_s－－標準氣中的組分i的含量，10^-6(V/V)；
　　　　　　　A_i－－樣品氣組分i的峰面積，mm²(V/V)；
　　　　　　　A_s－－標樣氣組分i的峰面積，mm²(V/V)；
　　　　　　　當半峰寬不變時可用峰高定量。

2　氧含量的測定
　　按GB/T6285執行。
　　儀器檢測限：0.1×10^-6(V/V)。
　　標樣：氬中含氧1×10^-6～5×10^-6(V/V)。

3　一氧化碳和二氧化碳含量的測定
　　按GB/T8984.1執行。
　　儀器檢測限：0.1×10^-6(V/V)。
　　標樣：氬中含一氧化碳、二氧化碳1×10^-6～2×10^-6(V/V)。　　

4　總烴（以甲烷計）含量的測定
　　按GB/T8984.3執行。
　　儀器檢測限：0.1×10^-6(V/V)。
　　標樣：氬中含甲烷1×10^-6～2×10^-6(V/V)。

5　水分含量的測定
　　按GB/T5832.1或GB/T5832.2執行，兩種方法具有同等效力。
　　儀器檢測限：0.2×10^-6(V/V)，經相應檢定規程檢定合格。