12月5日,福建恒申電子材料科技有限公司電子級特種氣體項目(三期) 環境影響報告書全本公示
本項目位于連江可門經濟開發區,擬在一期、二期工程基礎上擴建超純氨、配氣(超純氫氣和超純氮氣)、磷烷、砷烷配氣和氟氮混配氣、激光氣混配氣等生產工藝裝置,項目新建倉庫、維修車間等公輔設施,并設置相應的環保處理設施,其余依托現有工程。項目計劃總投資49291.76萬元。
主要生產規模為:
1)超純氨9900噸/年,工業氨100噸/年;氨水4160噸/年,硫酸銨溶液(副產品)8.089噸/年;
2)超純氫氣(作為磷烷、砷烷混配氣原料)92.3噸/年;超純氮氣其中作為磷烷混配、砷烷混配氣原料116.8噸/年,作為氟氮混配氣、激光氣混配氣原料213.6噸/年;剩余超純氫氣260.5噸/年和超純氮氣4672.1噸/年
3)磷烷混配氣(磷烷混氫、磷烷混氮、磷烷混氦、磷烷混氬)其中磷烷含量120噸/年;砷烷混配氣(砷烷混氫、砷烷混氮、砷烷混氦、砷烷混氬)其中砷烷含量60噸/年
4)氟氮混配氣(F2/N2混氣、F2/Ar/Ne、F2/Kr/Ne)其中氟氣含量62.2噸/年;其他各種混配氣(Xe/Ar/Ne、Kr/Ne、He/N2、H2/He、Kr/N2、Kr/He、Ar/He)51.9噸/年;激光氣(Ar、Ne、Kr、Xe)156.3噸/年;氫氟酸(副產品)13.5噸/年