8月22日,衢州市生態環境局智造新城分局受理了浙江博瑞中硝科技有限公司1002噸/年含氟電子氣體提質增效項目環境影響報告書并予以公告。
以下是該項目具體信息:
項目名稱:1002噸/年含氟電子氣體提質增效項目;
建設單位:浙江博瑞中硝科技有限公司;
建設地點:衢州智造新城巨化集團有限公司廠區中部;
項目投資:15000萬元;
建設內容及規模
項目分兩期建設,其中,一期為202t/a氟氮混合氣提質增效項目,項目二期為800t/a高純六氟化鎢產能提升項目。項目一期202t/a氟氮混合氣提質增效項目擬在現有15t/a氟氮混合氣生裝置基礎上,新增部分設備,并對現有產線進行升級改造,使裝置具備202t/a氟氮混合氣生產能力,項目二期800t/a高純六氟化鎢產能提升項目擬在現有200t/a高純六氟化鎢生產(含氟電子氣體項目一期)裝置基礎上,通過升級改造,增加氟化反應工序產品生產能力,進而實現單產線高純六氟化鎢產能從200t/a達到400t/a,使公司高純六氟化鎢生產能力達到800t/a。
六氟化鎢是一種無機化合物,化學式為WF6,常溫常壓下為無色氣體,溶于多數有機溶劑。是唯一能穩定存在的鎢的氟化物,具有極強的腐蝕性,可根據外界環境的變化表現出靈活的物化性能,被廣泛應用于工業生產的各個領域。 六氟化鎢在電子工業中主要作為集成電路的配線材料使用,其在經過化學氣相沉積工藝后可形成金屬鎢導Chemicalbook體膜,鎢導體膜在集成電子學中通常被用作高傳導性的互連金屬、金屬層間的通孔和垂直接觸的接觸孔以及鋁和硅間的隔離層,因此被廣泛應用于半導體集成領域;另外,六氟化鎢還可以應用于太陽能吸收器以及X射線發射電極的制造、導電漿糊等電子元器原材料。