摘要:在高純電子級四氟化硅生產與純化中，很容易產生氟硅醚雜質，甚至可以與四氟化硅進一步聚合生成氟硅醚高聚物。該高聚物可從膠體迅速聚集成顆粒，很容易堵塞管道和吸附劑，極易發生安全事故。根據硅醚鍵氟化斷裂的化學性質，設計了一系列基于金屬氟化物組成的氟硅醚阻聚劑。結果顯示，AgF2 阻聚劑具有阻聚熱力學效率高、動力學速率快的特點，可以使氟硅醚雜質有效控制濃度在20 ppm以下。四氟化硅重復五十次(每次用量10kg)通過AgF2阻聚劑仍然具有優秀的阻聚性能，故該阻聚劑具有良好的長期穩定性。
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