遇水反應的特種氣體及應急處置措施

• 遇水反應有爆炸危險的物質1-56條;

氣體圈子注意到，該名單中涉及多種用于半導體離子注入和摻雜的含磷、含硼、含硅氣體；用于生產單晶硅、多晶硅或二氧化硅的含硅材料；用作MOCVD工藝中鋁膜沉積材料。其應急處置措施整理如下，希望對氣體生產、運輸和使用的朋友有所幫助。如需完整版可以文末留下郵箱地址，氣體圈子將為你及時發送。