10月31日,林德宣布已啟動新的Spectra高純制氮裝置,以支持一家領先的半導體制造商在上海張江高科技園區的擴張。
林德的氮氣將用于整個新的半導體制造廠,支持直接生產工藝應用和各種半導體制造系統的常規吹掃和惰性化。新工廠由林德的合資公司聯華林德(LLH)安裝和運營,還將通過管道向工業園區中的現有客戶供應氮氣。
聯華林德中國區總裁Stan Tang說:“我們已經與客戶緊密合作,以擴展其先進晶圓加工設備所需的高純度氣體的基礎設施。通過這項新的投資,我們很高興能夠安全可靠地支持客戶的增長,同時還升級了基礎架構以滿足電子市場不斷增長的需求。”
關于林德Spectra品牌
SPECTRA產品范圍包括氣體混合物,以支持用于眼科手術和半導體制造的高精度激光應用,氙氣推動衛星穿越太空,以及最奇特的VOC校準氣體混合物,用于高度敏感的環境測量和污染控制。
文章來源:氣品網
林德的氮氣將用于整個新的半導體制造廠,支持直接生產工藝應用和各種半導體制造系統的常規吹掃和惰性化。新工廠由林德的合資公司聯華林德(LLH)安裝和運營,還將通過管道向工業園區中的現有客戶供應氮氣。
聯華林德中國區總裁Stan Tang說:“我們已經與客戶緊密合作,以擴展其先進晶圓加工設備所需的高純度氣體的基礎設施。通過這項新的投資,我們很高興能夠安全可靠地支持客戶的增長,同時還升級了基礎架構以滿足電子市場不斷增長的需求。”
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SPECTRA產品范圍包括氣體混合物,以支持用于眼科手術和半導體制造的高精度激光應用,氙氣推動衛星穿越太空,以及最奇特的VOC校準氣體混合物,用于高度敏感的環境測量和污染控制。
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