氣體分離8月2日從聯優UniEco獲悉,其將為中船重工集團718所特氣項目8000液氮制備裝置提供一套高低溫增壓膨脹機。該項目預計在2020年8月之前投入運行。
據悉,中船重工718研究所特種氣體二期工程項目于2018年5月開工建設,項目總投資12億元,占地250畝,總建筑面積15.9萬平方米,主要建設高純電子特種氣體生產車間、研發中心及輔助設施等。建成后,特種氣體產量達7400噸/年,氮氣產量達80000噸/年。
高純電子特種氣體被形容為半導體工業的“血液”和“糧食”,是大規模集成電路、多晶硅、太陽能、光纖等先進制造業的重要原材料,屬于國家加快扶持發展的戰略性新興產業。然而早些年,相關產品被國外壟斷,市場定價權掌握在國外廠商手中。為打破壟斷、搶占市場機遇。
718所于2000年組建特種氣體工程部,自籌經費立項開展研究,于2009年成功開發出高純三氟化氮,該產品被列入國家“重點新產品”及“火炬計劃”,應用于國內大部分的半導體、液晶、太陽能行業,并出口美國、日本、法國、德國等國家。
718所擁有50多年從事氣體相關產業的研發和生產經驗,目前該所已建成國內最大的三氟化氮、六氟化鎢及三氟甲磺酸系列產品研發生產基地。其中三氟化氮國內市場覆蓋率超過95%,國際市場覆蓋率達30%;六氟化鎢國內市場覆蓋率達100%,國際市場覆蓋率達40%。作為國家“02專項”氣體組項目的牽頭單位,該所已經成功研制出四氟化硅等9種高純氣體及10種混合氣體,并成功進行了產業化,產品得到了中芯國際等半導體龍頭企業的測試認證。
近兩年,718所特種氣體產業迅速壯大,年均增速達到30%。該所力爭到2020年,實現年產高純三氟化氮氣體12000噸、高純六氟化鎢氣體2000噸、其他特種氣體3000噸,成為世界知名的電子特種氣體材料綜合服務商。