2018年3月20日,臺灣美光傳出氮氣供應受阻狀況,DRAMeXchange分析,此問題點發生于臺灣美光廠外,主因為氮氣的設備故障導致氣體無法運輸到臺灣美光內,故障機臺須送回美國維修,目前機臺已修復并運送回臺,然臺灣美光真正完全復工須待至4月初。此氮氣事件將對臺灣美光4月上旬的產出有一定程度的影響,將使目前DRAM市場供給吃緊的情況延續,預期第二季標準型內存合約價將較前一季度再上揚3%。
據外媒TrendForce報道,在2017年7月1號的時候,美光公司位于臺灣地區的桃園晶體廠由于氮氣分配系統故障,導致廠內晶片和設備受到了污染。按照預測,此次污染意外導致大約6萬片的晶圓報廢。不過美光公司當天發表官方聲明否認了這件事,表示沒有發生氮氣泄露事件,只是一些小事故,相關業務并沒有受到實質影響。
據悉,臺灣美光在一年內已經是第二次因氮氣原因而影響生產。氣體安全管理和BCP管理對半導體工廠和氣體公司都非常重要。第三屆國際氣體產業發展高峰論壇講圍繞氣體現場安全管理和物料兼容性管理內容進行專題報告,歡迎報名咨詢13915328463.
半導體企業氣體安全事故節選
2013年1月28日,三星位于韓國華城(Hwaseong)的半導體工廠發生氫氟酸氣體泄漏事故,導致1名工人死亡,4名工人受傷。
2013年9月4日下午,SK海力士半導體(中國)有限公司一車間突然氣體泄漏引發火災。
2014年1月22日日本夏普公司和鴻海公司共同經營的一家顯示器產品工廠,發生氯化氫氣體泄漏事件。