使用DID氣相色譜法檢測電子級高純氧氣中的雜質

摘要:電子材料生產工藝中，采用高純度的氧氣參與反應，氧氣的純度直接影響電子材料的品質。因此，高純氧氣作為一種特氣，對純度的要求越來越高:美國GOW-MAC儀器公司生產的592 DID型氣相色譜儀，配置美國GOW-MAC儀器公司的放電離子化檢測器(DID-Discharge lonization Detector),使用高效色譜柱，實現了檢測高純氧氣中的Ar、N2、CH4、H2、CO2、C2H4、 C2H2、C2H6等雜質的檢測。

詳情請下載：使用DID氣相色譜法檢測電子級高純氧氣中的雜質