上海福宜真空設備有限公司  

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公司開發的主要設備有：工模具硬質涂層鍍膜設備、磁控濺射鍍膜設備、多弧離子鍍膜設備、磁控濺射復合多弧離子鍍鍍膜設備、連續線式磁控濺射鍍膜生產線、光學鍍膜設備、CVD和PECVD化學氣相沉積設備、ICP刻蝕設備和ALD原子層沉積、（超）高真空系統、多工位高真空排氣臺、高真空分子泵機組、多工位檢漏系統、真空腔體及管道、高材料利用率（材料利用率超過40-60%以上）矩形平面磁控濺射陰極、產業用旋轉磁控濺射陰極（材料利用率達到80%以上）、線性離子源、多弧陰極、多弧過濾陰極和多弧旋轉柱狀陰極、真空零配件閥門、檢漏服